"Масс-спектрометр МТХ-350ГП предназначен для анализа содержания примесей в гексафториде урана. Прибор создан на основе базовой аналитической части при использовании унифицированных электронных блоков масс-спектрометров серии МТИ-350. Особенности: Масс-спектрометр МТХ-350ГП оснащен следующими узлами, обеспечивающими выполнение специфических измерительных функций: источником ионов с минимальным значением дискриминации по массе; приемником ионов с широким динамическим диапазоном; системой подготовки и ввода проб с устройством концентрирования примесей. Масс-спектрометр обеспечивает анализ химически агрессивных веществ с целью обеспечения контроля примесей в газообразном гексафториде урана. В МТХ-350ГП используется система подготовки и ввода проб, выполненная в виде отдельной стойки. Система ввода проб включает три канала: канал прямого анализа; канал анализа органических примесей с использованием фтористого натрия; канал анализа неорганических соединений с использованием криогенного сублиматора. Использование селективного пропускания веществ на основе криогенного сублиматора позволяет существенно понизить порог обнаружения примесей различных элементов: бора (BF3); кремния (SiF4) фосфора (PF5, POF3); серы (SF6, SOF2, SO2F2); хрома (CrO2F2); молибдена (MoF6); вольфрама (WF6); рения (ReF6); легких примесей - фторида водорода (HF), воздушных компонентов (N2, O2, Ar, CO2), а также легких органических соединений, регламентируемых отечественными техническими условиями и спецификациями ASTM."
Экспериментальный завод научного приборостроения со Специальным конструкторским бюро Российской академии наук является Федеральным государственным унитарным предприятием, подведомственным Министерству науки и высшего образования Российской Федерации.
Предприятие было основано в 1972 году для обеспечения научно-исследовательских институтов Академии наук СССР и других организаций особо сложным оборудованием и приборами.
Завод специализировался на выпуске высоковакуумных установок, приборов для исследования структуры и химического анализа материалов, а также средств автоматизации и обработки данных.
В настоящее время ФГУП ЭЗАН производит широкий спектр оборудования для промышленности и науки.