CoreMorrow P11.XYZ100 — это малогабаритный 3-осевой пьезопозиционный столик для нанопозиционирования. Он использует гибкий шарнирный направляющий механизм без трения и механизм с усиленным приводом для обеспечения смещения по оси 100 мкм. Версия с замкнутым контуром может обеспечить точность позиционирования до наномасштаба. Он имеет превосходную точность управления, разрешение и стабильность могут достигать нанометрового уровня, время стабилизации составляет всего миллисекунды, предметный столик изготовлен из немагнитного материала и не подвержен влиянию магнитного поля во время работы.
Характеристики
• Движение по осям X, Y, Z
• Ход до 100 мкм/ось
• Маленький размер
• Быстрое время отклика
• Доступна вакуумная версия
Приложения
• Лазерные помехи
• Проверка качества
• Нано-измерение
• Микрообработка / прецизионный контроль
• Нано-отпечаток
• Биотехнология
• Сканирующий микроскоп
• Нанопозиционирование
| Type | S-Closed loop K-Open loop | P11.XYZ100S | P11.XYZ100K | Units |
| Active axes | X, Y, Z | X, Y, Z | ||
| Travel range(0~120V) | 80/axis | 80/axis | μm±10% | |
| Travel range(0~150V) | 100/axis | 100/axis | μm±10% | |
| Sensor | SGS | - | ||
| Closed/open loop resolution | 3 | 1 | nm | |
| Linearity | 0.1 | - | %F.S. | |
| Repeatability | 0.05 | - | %F.S. | |
| Pitch/yaw/roll | <10 | <10 | μrad | |
| Push/pull force | 30/5 | 30/5 | N | |
| Stiffness | X0.25/Y0.3/Z0.2 | X0.25/Y0.3/Z0.2 | N/μm±20% | |
| Unloaded resonant frequency | X0.2/Y0.3/Z0.18 | X0.2/Y0.3/Z0.18 | kHz±20% | |
| Closed/open-loop unloaded step time | 20 | 0.8 | ms±20% | |
| Load capacity | 0.6 | 0.6 | kg | |
| El. capacitance | 1.8/axis | 1.8/axis | μF±20% | |
| Operating temperature | -20~80 | -20~80 | ℃ | |
| Material | Steel, Al | Steel, Al | ||
| Size(L×W×H) | 40×40×36.5 | 40×40×36.5 | mm | |
| Mass | 230 | 230 | g±5% | |
| Cable length | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
| Connector | LEMO | LEMO | ||
Harbin Core Tomorrow Science & Technology Co., Ltd. focuses on research，development, production and sales of nanoscale precision positioning products, mainly in the service of high-end precision equipment manufacturers. After nearly 20 years of rapid development, our market has covered all well-known colleges and universities, research institutes, and high precision equipment manufacturers, and exported to Europe, America, Japan, Korea and other countries. We have established partnerships with a number of high-tech enterprises, state key laboratory, has become Chinese most professional precision positioning products manufacturer.