Серия CheckMate - ультра устойчивая 200 / 300мм аналитическая исследовательская станция обеспечивающая быстрое перемещение подложки, наряду с субмикронным разрешением. Серия CheckMate включает в себя пять версий: CM210 / CM220 / CM230 - зондовые станции с ручным управлением движения подложки и микроскопа. CM240 / CM250 - полуавтоматические зондовые станции с программируемой функцией "шаг и повтор", наряду со многими другими функциями и принадлежностями. CM330 - станция с 300мм X-Y столиком, стандартным джойстиком 300 серии с прецизионным дисковым манипулятором, компьютеризованный полуавтоматический зонд с разрешением 0.5 микрон и лазером, установленным на высоко мощном микроскопе.