с естественной средой, ускоряющее напряжение от 200В до 30кВ, разрешение 3,5 нм при 30кВ в режимах высокого вакуума, низкого вакуума, естественной среды и 15 нм при 3кВ в режиме низкого вакуума. Размер камеры 379 мм, 10 портов для установки детекторов и анализаторов. 5-и осевой моторизованный столик 150х150 мм.