Сканирующий микрозонд для фотоэлектронной спектроскопии PHI Quantera обеспечивает высокую чувствительность и необходимый инструментарий для применения РФС метода практически ко всему спектру существующих образцов, а также в анализе отказов. Среди его возможностей − высокопроизводительная спектроскопия микрообласти по всем элементам кроме H и He, профилирование ионной пушкой, картрирование, автоматизированный анализ диэлектриков и др. Минимальная область сканирования 9 мкм. Полная автоматизация системы упрощает эксплуатацию и повышает воспроизводимость результатов измерений. Большой размер столика образцов позволяет анализировать действительно крупные образцы из "реального мира" автоматически или сразу несколько мелких образцов. Принцип работы: В методе РФС в качестве первичного источника возбуждения используется мягкое рентгеновское излучение, а наряду с Оже-электронами регистрируются фотоэлектроны, непосредственно вырываемые рентгеновскими квантами с внутренних оболочек атомов. Поскольку энергетическое положение фотоэлектронных линий очень чувствительно к химическому окружению атомов, составляющих исследуемое вещество, данный метод широко применяется для исследования химического состава.