Длина преобразуемых перемещений, мм - 50, 75, 100, 120, 150, 170, 220, 270, 340, 370, 420, 470, 520, 540, 570, 620, 720, 820, 920, 1020, 1140, 1240 Шаг растровой меры длинны, мкм - 20 Максимальная скорость перемещения, м/мин - 20 Дискретность информации о перемещении, мкм - 1