Установки разработаны для эксплуатации в чистых помещениях или под индивидуальными блоками обеспыливания. В соответствии с процессом и по техническим требованиям состав установок компонуется нижеуказанным оборудованием. Ванны из полипропилена или фторопласта для химической обработки и гальванопокрытий оснащенные необходимыми устройствами и системами Блоки нагрева/охлаждения технологических растворов Устройства для перемешивания растворов (барботеры, электромеханичекие мешалки) Устройства для горизонтального или вертикального покачивания кассет Программируемые источники тока для гальванических ванн АПС и АПРС Таймеры для контроля времени обработки Накопительные устройства и устройства для автоматического переноса кассет из ванны в ванну Промывные ванны с устройством контроля качества отмывки Ванны из нержавеющей стали Ванны для обработки в органических растворителях Ультразвуковые ванны Центрифуги реагентной обработки (проявление/травление, промывка и сушка) Центрифуги Блоки подачи реагентов Центрифуги нанесения фоторезиста Центрифуги Устройства дозированной подачи фоторезиста Камеры сушки и задубливания фоторезиста Встроенные плиты нагрева реагентов с керамической греющей поверхностью Блоки подачи азота и деионизовнной воды с финишными фильтрами